自由曲面检测设备
产品优势
1.独家知识产权(轨迹交叉PMD法)
2.亚微米测量精度
3.单次全面型快速检测
4.成本可控，适合产线批量检测
1.独家知识产权(轨迹交叉PMD法)
2.亚微米测量精度
3.单次全面型快速检测
4.成本可控，适合产线批量检测
自由曲面被大量应用于头戴式显示器、投影仪车载HUD等系统中，该检测系统可被应用于自由曲面光学元件的工厂端检测。
价值与难点
l 成像领域对自由曲面的面形质量 提出了亚微米量级的高精密要求。 l 自由曲面面形难以用统一的数学 表达式进行描述，这种高复杂性、非旋转对称性等特性给其高精度 检测带来了巨大的挑战。 l 工厂端批量检测对于测量的设备的检测精度和测量速度以及成本要求极高。
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规格参数 |
指标 |
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镜面检测标准模式 |
最大测量尺寸（X*Y） |
200*100mm |
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最大倾角范围 |
±30° |
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光学面型单次测量不确定性 |
±0.5um |
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纵向测量分辨率 |
20nm |
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单次检测时间 |
＜40s |
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镜面检测高陡模式 |
最大测量视场（X*Y） |
350✖250 |
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最大倾角范围 |
±45° |
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光学面型单次测量不确定性 |
±0.5um |
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软件分析功能 |
分析功能 |
三维对比误差/斜率误差/曲率误差/瑕疵分析 |
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3D数据输出 |
3D点云数据，误差点云数据 /曲率数据 |
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一键式快速测量 |
自动报告保存和统计功能 |
